创业项目历史背景
某大形半导体行业引致厂家坐落于长四角的地区,主耍生產晶圆和正确处理芯片。在生產过程中 中,晶圆割孔和拋光时候有很大研磨抛光液电镀废水,每日排放口物量约50吨。因为电镀废水里包含高盐浓度飘浮物、金屬正离子及设计生成剂,一直排放口物会对大环境引致可怕危害,厂家紧缺施工专注正确处理建筑设施。
化工废水材质及特征
打磨液焦化废水核心特征于晶圆加工厂中的化学上的机械设备抛光剂(CMP)加工过程,核心废弃物物包含:
透明桌面粒子物
:二钝化硅、钝化铝等研磨机颗粒物,比表面积在0.1-1μm,溶液浓度更是高达2000mg/L。
金屬铁离子
:铜、铁、锌等,原于镜面抛光垫磨花及晶圆面复合层,铜亚铁离子氨水浓度约50mg/L。
有机化学加上剂
:涉及从表面几丁质酶剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸咸性性有机化合物
:pH值波动性大,常见在2-11相互。
操作工艺设计具体流程
对于废渣特点,使用“预工作+生物化学+厚度工作”乐队组合加工制作工艺 :
调节器池
:平衡污水水质容量,“添加强酸强碱的调节pH至弱酸性。
混凝土奠定
:污泥脱水PAC(缩聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),清理自动隐藏物和溶液,沉降后SS清理率>90%。
离子液体氧化物
:按照Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)可降解有机物加上剂,COD弄掉率达60%。
菌物除理
:MBR膜生物制品现象器进步骤生物降解已用生产物,COD降到100mg/L下类。
亚铁离子对换
:使用不饱和树脂树脂吸附铜化合物,出水量铜水分含量<0.5mg/L。
砂滤+几丁质酶炭滤出
:为了保证出液清澈见底,满足《废水标准规范单位化排卸标准规范单位》(GB8978-1996)特级标准规范单位。
既定效率
平台正常运作稳固后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。
循环率达40%,累计符合标准排污,年减小污废水 排污1.6万吨。
加工的成本约15元/吨,远不超行业内均值。