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半导体晶圆划片废水处理案例|半导体晶圆划片废水处理方法

的项目题材 本次目建在长半圆区县某地区级半导体器件加工业各园,厂家主耍种植8厘米和12厘米晶圆,日常量达到了2万片。根据产能分析提升自己,原本的废水整理整理软件系统已时未做到环保节能需要,亟需加剧改革。項目总股权投资约1一千万元,设计制作整理意识为300吨/日,于2022年俊工投产。 生活污水组分及来源地 该公司晶圆小学划片工作生产的废气最主要收录接下来组成成分: 切开环节中的使用的精磨液剩余的物,关键物质为二空气氧化硅粒子、外面亲水性剂和生产填加剂 晶圆外表的清洗行成的含氟废污水,氟化合物氧化还原电位在80-120mg/L 少许巨资属亚铁离子如铜、镍等,从何而来于切软件划痕 充分容剂留,包涵异丙醇、甲苯等 pH值振幅明显,平常在4-10彼此 整理工艺设计操作流程 涉及化工废水的特点,设汁主要包括"化学预操作+生物化操作+深层次操作"的组成鑫霖环保: 自动调节池 :均等化水体供水量,设计pH高清环境监测系统的和自动化投加药剂系统的 水泥混凝土结晶 :添加PAC和PAM,删去悬屏物和溶液成分 气浮单元测试 :用溶气气浮工艺设备进一点清掉狗瘟粉末和部门有机化学物 生物化进行处理 :主要采用MBR膜动物作用器,废水盐浓度保护在8000-10000mg/L 强度处里 :生物炭吸出+反渗工艺流程,提高认识冒水达到标准 污泥处置处置 :板框隔膜压滤机脱水过滤,污泥处理含水量率降低60%下类 整理实际效果 软件平稳运转后,满水后水的质量充分超过《光电化工业水水污染源直接的排放标》(GB39731-2020)特备直接的排放限制值需求: COD<30mg/L 氟化合物<5mg/L 漂浮物<10mg/L 天价属各类公式均如果低于规定值 項目一年可以减少感染物排放标准量约COD 32吨、氟化物8.5吨,循环水率超过75%以上的,为企业主节约使用水电费总支出约115万元/年。

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