半导体晶圆划片废水处理案例|半导体晶圆划片废水处理方法
的项目题材
本次目建在长半圆区县某地区级半导体器件加工业各园,厂家主耍种植8厘米和12厘米晶圆,日常量达到了2万片。根据产能分析提升自己,原本的废水整理整理软件系统已时未做到环保节能需要,亟需加剧改革。項目总股权投资约1一千万元,设计制作整理意识为300吨/日,于2022年俊工投产。
生活污水组分及来源地
该公司晶圆小学划片工作生产的废气最主要收录接下来组成成分:
切开环节中的使用的精磨液剩余的物,关键物质为二空气氧化硅粒子、外面亲水性剂和生产填加剂
晶圆外表的清洗行成的含氟废污水,氟化合物氧化还原电位在80-120mg/L
少许巨资属亚铁离子如铜、镍等,从何而来于切软件划痕
充分容剂留,包涵异丙醇、甲苯等
pH值振幅明显,平常在4-10彼此
整理工艺设计操作流程
涉及化工废水的特点,设汁主要包括"化学预操作+生物化操作+深层次操作"的组成鑫霖环保:
自动调节池
:均等化水体供水量,设计pH高清环境监测系统的和自动化投加药剂系统的
水泥混凝土结晶
:添加PAC和PAM,删去悬屏物和溶液成分
气浮单元测试
:用溶气气浮工艺设备进一点清掉狗瘟粉末和部门有机化学物
生物化进行处理
:主要采用MBR膜动物作用器,废水盐浓度保护在8000-10000mg/L
强度处里
:生物炭吸出+反渗工艺流程,提高认识冒水达到标准
污泥处置处置
:板框隔膜压滤机脱水过滤,污泥处理含水量率降低60%下类
整理实际效果
软件平稳运转后,满水后水的质量充分超过《光电化工业水水污染源直接的排放标》(GB39731-2020)特备直接的排放限制值需求:
COD<30mg/L
氟化合物<5mg/L
漂浮物<10mg/L
天价属各类公式均如果低于规定值
項目一年可以减少感染物排放标准量约COD 32吨、氟化物8.5吨,循环水率超过75%以上的,为企业主节约使用水电费总支出约115万元/年。