该晶圆开发厂应用于华中位置,最主要产生89英寸光电器件晶圆,日访问量化工废水直接排缩量上涨约800吨。鉴于产生历程中利用过多盐酸对其进行晶圆蚀刻,导至化工废泥中氟化物氧浓度高达hg200-300mg/L,远超我国直接尾气相关排放标准化标准化(10mg/L下述)。
工业废水含量及收入
污水具体来自五湖四海这三个环节:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、硝酸铵及少量出天价属
生物机器拋光(CMP)污水
:含納米级硅粒状、生物碳络合剂
设施家电清洗废水处理
:含异丙醇、氧化还原电位等化学物质物
解决加工生产工艺步骤
所采用"化学上析出自己+沥青混凝土析出自己+的深度脱水"三级职业资格证书加工处理平台:
1级净化处理
:添加氯化钙和氢钝化钙,达成氟化钙析出,氟化物快速清理率达85%
三级处置
:插入PAC(聚合物氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),去掉电解质溶液态被大气污染物
两级正确处理
:依据多物料滤出器和灵活性炭过滤器吸咐,冒水氟化物浓硫酸浓度维持在8mg/L有以下
关健专用设备收录:pH自动式自动调节模式、斜管凝固池、板框废水压滤机(废水脱水现象)。
终结结果
工程项目运动六年数据统计监测方案统计表明:
氟化物分別浓硫酸浓度:7.2mg/L(降至一个国家规格)
COD消除率:92%
工业废水水分含量率:≤65%
年回笼氟化钙副產品约150吨,达成資源化灵活运用