项目工程概述 某85英寸晶圆厂刻蚀道工序产生含氟污废水 （主要是材质为HF、NH4F），构思办理占比200m³/d，的要求进行水中水回用率≥90%，氟化物回收处理用率＞80%。 水质检测特别 氟化物浓硫酸浓度梯度方向大（50-5000mg/L） 含硅颗料及黑色金属阴阳离子（Al³⁺、Cu²⁺） 化学需氧量含锌量高（300-800mg/L） 加工制作工艺 方法优点 级别划分抽取程序 ： 高氧化还原电位电镀废水（＞1000mg/L）专门开启沉淀利用模式 低氧浓度电镀废水加入常規外理线 管理的本质进行处理摸块 ： 旋流想法器短时间滤渣氟化钙 多效多效冷凝器浓缩提炼氟化铵溶剂 速冻心得制得高纯氟化铵好产品 循环控制系统 ： 反加入装置+反加入双膜法产水循环 浓水用以工业园区抑尘 经济条件技艺评价指标 氟化物一体化环保再生资源回成品率82% 吨水治理料工费大幅度降低至18.7元 年利用氟化铵车辆350吨 去离子水回收利用率92.3% 氟化工厂生活污水解决主要枝术工作小结 化学反应沉积法 优化网络基本原则： 钙盐添加量需抑制Ca²⁺:F⁻=1.05-1.1（摩尔比） 想法pH值精确性管理在10.5-11.5时间 长度工作方法 比选： 活性酶类硫化铝：适合于＜20mg/L的宽度补救 反加入：好低有机废气浓度含氟生产废水 电团结：治理 高难系数设计氟废污水 成本化朝向 ： 氟化钙沉淀物需加工人品造萤石 氟化铵盐溶液纯化后使用于的生产 二手回收氟服务划算价值量能达到3000-5000/吨 注：真正项目 中需会根据水硬度特征因素对其进行小试确保最好工艺技术因素，改进措施优先权采取分质清理与不断循环采取计划方案。