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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆生产销售线整套搭配的超软水软件,每顿饭出现含硅生活污水150吨。生活污水里面虽无巨资属,但硅硫含量高易水垢,且功率电阻率需完成18MΩ·cm才华造纸废水加工。固有鑫霖环保设计始终无法够满足新出台的《智能企业水的挥发性有机物排卸标准》(GB39731-2020)尤其是排卸最大限度。 污废水 组成特殊性 首要被有害物质 :固体硅(200-300mg/L)、小粒硅(颗粒直径0.1-1μm) 唯一性条件 :TOC<10μg/L,硼纯度<5μg/L 水质监测特点 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅类化合物行态较为复杂 除理方法方法 企业创新所采用"梯级膜分离法+电去正离子"搭档加工: 微滤预治理 :1μm陶瓷制品膜阻拦大颗料硅,通量稳定80LMH 亚铁离子交流树脂材料 :D201大孔树脂材料进行性吸硅酸原子核 五级RO模式 :其次段收售率60%,其次段选择高脱硼膜元器件封装 EDI电去化合物 :直流电压高密度2A/m²,快速我们要除的残留物阴阳离子 UV紫外线灭菌 :254nmUV紫外光线线服用量40mJ/cm² 技术工艺闪光点 建设专用型阻硅剂(有机化学胺类软型物),抑制膜被污染周期性3倍 EDI控制器改革创新流道制作,硅去掉率不断提升至99.8% 手机在线硅介绍仪(估测时间范围0.1-500μg/L)实现了脱贫把控好 执行初步成效 经第四方检则: 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L下降0.3μg/L 体统回收分类处理率从原40%升级至68% 膜修改的周期延时至5年,年运作料工费影响35%

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