某半导体技术制造出品牌因晶圆冲洗道工序造成含氨化工废水,排水量200吨/天。化工废水底除氯离子外还包含氟化物和轻微高价属,正确处理分值大。当地政府排出基准标准氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
焦化废水含量及来源于
晶圆冲洗废水处理(主要是由来):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工艺化工废水:含轻微铜、镍等血本属,pH值动荡大
CMP粉磨废渣:含硅顆粒及挥发酚
处置施工施工顺序图
按照"生物沉积+膜分离出来+折点氯化"组装工艺技术:
预治理
:加药CaCl2除氟,的控制pH在7.5-8.
反渗透装置软件
:清掉0.01μm往上粒子物
反进行渗透精提
:将氟化物原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L以内
折点氯化
:正确操作氯加药系统量,将化学需氧量还原成为氢气
正离子更换
:确保血本属达到
进而功能
高锰酸盐指数动态平衡<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属份量超过检侧限
水回收利用率达75%
淤泥导致量限制40%