南京某半导体行业除理芯片打造厂,晶圆生产制造工作中形成含硅、氟的特出工业生活污水,规划除理投资额1200吨/日。工业生活污水营养成分复杂的,包含有纳米技术级硅粒子及盐酸,常用除理技巧难于及格。
废污水化学成分及主要来源
重要环境破坏物
:悬浊液硅(100-500nm粒度)、氟铝离子(200-300mg/L)、异丙醇
来原工艺程序
:晶圆刻蚀废渣(45%)、CMP化学上的机械性磨光废渣(40%)、专用设备清洗道路水(15%)
处理生产技术工作流程
的创新所采用"无机化学沉定+特殊膜提取"方法线路:
钙盐乳浊液
:添加氯化钙避开氟正离子(转为CaF2石雕文化沉淀)
斜管沉淀池不良反应
:符合水解酸化池剂保持固体硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔的直径膜挤占微细粒状
超滤法系统
:脱盐率>98%,回收分类处理率75%
化掉晶体
:浓水段保证氟化物零污染物
决定性感觉
氟化物浓硫酸浓度:<8mg/L(达不到国家的五级的标准10mg/L)
硅含氧量:<5mg/L
水能源中水回用率:70%用在冷凝塔皮肤补水
危险废弃物减轻药量:化掉食物残渣量较中国传统施工工艺减轻60%