半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
大型项目历史背景
该第三产业园区集结了十余家半导体技术涉及到工厂的,构思日治疗程度5000吨,需治疗来有不同工厂的的混合型喂养废水加工处理加工处理工艺技术。仍然各工厂的工作工艺技术不同大,废水加工处理加工处理工艺技术材料错综复杂机动,治疗一定难度较高。
废污水的成分及源于
污水首要还还有四种类:高酸度设计污水(光刻胶、成像液等)、含氟污水(刻蚀繁琐流程)和酸性污水(洗掉繁琐流程)。非常规成份还还有异丙醇、四甲基氢被氧化铵等难光降解设计物,或是氟化物、氯离子等硅化物危害物。污水COD浮动大(500-3000mg/L),氟化物酸度100-500mg/L,氯离子50-150mg/L。
清理工艺注意事项注意事项
应用"划分回收利用+分质处置+密集程度处置"的科技创新方法:
厂家内壁分类整理预正确治理:含氟废污水单个整理并预正确治理
开发区供水管道分类管理卸料机系统
网络综合控制池均匀水污染
有级混疑乳浊液祛除悬浮按钮物和胶体溶液
提高效率怪物发生植物细胞培养(HBR)补救设计环境破坏物
臭氧杀菌催化反应被氧化降解塑料难葡萄糖氧化设计物
反采取渗透体统采取脱盐正确处理
分光光度计线空气消毒保持满水后健康安全
有点配置了在线播放监测网系統和软件系统自动投加系統,因对环境质量浮动。
结果是作用
操作系统运动六年来,治理 疗效稳固靠谱。溢水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氯离子<5mg/L,总氮<15mg/L,达成地下水监测Ⅳ类标,要素循环于科技该项目园林及闭式圆形冷却塔塔保湿,循环率超越30%。去年下降生鲜水在使用约5万吨,为科技该项目公司企业避免浪费水电费百余亿元。